創(chuàng)新與智能 藝術與科技完美結合
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北京市順義區(qū)李橋鎮(zhèn)南半壁店段11號，環(huán)宇商務科技園D座105
潔凈廠房設計規(guī)范
中華人民共和國國家標準
潔凈廠房設計規(guī)范
??Code?for?design?of?clean?room
GB?50073-2013
主編部門：中華人民共和國工業(yè)和信息化部
批準部門：中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部
施行日期：2013年9月1日
中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部公告
第1627號
住房城鄉(xiāng)建設部關于發(fā)布國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》的公告
????現批準《潔凈廠房設計規(guī)范》為國家標準，編號為GB?50073-2013，自2013年9月1日起實施。其中，第3.0.1(1、2、3)、4.2.3(1)、4.4.1、5.2.1、5.2.4、5.2.5、5.2.6、5.2.7、5.2.8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、5.3.5、5.3.10、6.1.5、6.2.1、6.3.2、6.5.1、6.5.3、6.5.4、6.5.6、6.5.7(1)、6.6.2、6.6.6、7.3.2、7.3.3(1、4)、7.4.1、7.4.3、7.4.4、7.4.5(2)、8.1.1(4)、8.1.5、8.1.8、8.4.1、8.4.2(2、3)、8.4.3、9.2.2、9.2.5(1)、9.2.6、9.3.3、9.3.4、9.3.5、9.3.6、9.4.3、9.5.2、9.5.4、9.5.7條(款)為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。原國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB?50073-2001同時廢止。
????本規(guī)范由我部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版發(fā)行。
中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設部
2013年1月28日
前言
????本規(guī)范是根據原建設部《關于印發(fā)<2002-2003年度工程建設國家標準規(guī)范制訂、修訂計劃>的通知》(建標函〔2003〕102號)的要求，由中國電子工程設計院會同有關單位共同對《潔凈廠房設計規(guī)范》GB?50073-2001修訂而成。
????本規(guī)范在修訂過程中，修訂組結合我國潔凈廠房設計建造和運行的實際情況，進行了廣泛的調查研究和測試，認真總結了《潔凈廠房設計規(guī)范》GB?50073-2001多年來實施的經驗，廣泛征求了全國有關單位的意見，最后經審查定稿。
本規(guī)范共9章和3個附錄，主要內容包括：總則、術語、空氣潔凈度等級、總體設計、建筑、空氣凈化、給水排水、工業(yè)管道、電氣等。
????本規(guī)范主要的修訂技術內容是：修改了第2章術語;對第3章空氣潔凈度等級的相關內容作了修改和補充;修改了第8章，更名為“工業(yè)管道”;修改了部分“強制性條文”為“非強制性條文”。
????本規(guī)范中以黑體字標志的條文為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。
本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設部負責管理和對強制性條文的解釋，由工業(yè)和信息化部負責日常管理，由中國電子工程設計院負責具體技術內容的解釋。在本規(guī)范執(zhí)行過程中如有意見或建議，請寄送中國電子工程設計院(地址：北京市海淀區(qū)萬壽路27號，郵政編碼：100840，傳真：010-68217842)，以便今后修訂時參考。
????本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人：
????主編單位：中國電子工程設計院
????參編單位：信息產業(yè)部第十一設計研究院科技工程股份有限公司?中國石油化工集團上海醫(yī)藥工業(yè)設計院?中國建筑科學研究院
主要起草人：陳霖新?張利群?王唯國?繆德驊?晁陽?趙海?俞渭雄?周春海?秦學禮?譚易和?賀繼行?肖紅梅?樊勖昌?張彥國?黃德明?牛光宏?冷捷敏?馮佩明
????主要審查人：涂光備?薛長立?王宗存?張洪雁?施紅平?李兆堅?葉鳴?孫志華?萬桐良
1??總則
1.0.1??為了使?jié)崈魪S房設計符合節(jié)約能源、勞動衛(wèi)生和環(huán)境保護的要求，做到技術先進、經濟適用、安全可靠，確保潔凈廠房設計質量，制定本規(guī)范。
1.0.2??本規(guī)范適用于新建、擴建和改建潔凈廠房的設計。
1.0.3??潔凈廠房設計應是施工安裝、維護管理、檢修測試和安全運行的基礎。
1.0.4??潔凈廠房設計除應符合本規(guī)范外，尚應符合國家現行有關標準的規(guī)定。
2??術語
2.0.1??潔凈室????clean?room
????空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留的粒子。室內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。
2.0.2??潔凈區(qū)????clean?zone
????空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入、產生及滯留粒子。空間內其他有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式。
2.0.3??移動式潔凈小室????mobile?clean?booth
????可整體移動位置的小型潔凈室。有剛性和柔性材料圍擋兩類。
2.0.4??人身凈化用室????room?for?cleaning?human?body
????人員在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。
2.0.5??物料凈化用室????room?for?cleaning?material
????物料在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間。
2.0.6??粒徑????particle?size
????給定的粒徑測定儀所顯示的、與被測粒子的響應量相當的球形體直徑。
2.0.7??懸浮粒子????airborne?particle
用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm～5μm的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子的物理性、化學性、放射性及生命性。
2.0.8??超微粒子????ultrafine?particle
????具有當量直徑小于0.1μm的粒子。
2.0.9??微粒子??microparticle
????具有當量直徑大于5μm的粒子。
2.0.10??粒徑分布????particle?size?distribution
????粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數。
2.0.11??含塵濃度????particle?concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數。
2.0.12??潔凈度????cleanliness
????以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數量來區(qū)分的潔凈程度。
2.0.13??氣流流型????air?flow?pattern
????對室內空氣的流動形態(tài)和分布進行合理設計。
2.0.14??單向流????unidirectional?airflow
????通過潔凈室(區(qū))整個斷面的風速穩(wěn)定、大致平行的受控氣流。
2.0.15??垂直單向流????vertical?unidirectional?flow
????與水平面垂直的單向流。
2.0.16??水平單向流????horizontal?unidirectional?flow
????與水平面平行的單向流。
2.0.17??非單向流????non-unidirectional?flow
????送入潔凈室(區(qū))的送風以誘導方式與室(區(qū))內空氣混合的氣流分布類型。
2.0.18??混合流????mixed?airflow
????單向流和非單向流組合的氣流。
2.0.19??潔凈工作區(qū)????clean?working?area
除工藝特殊要求外，指潔凈室內離地面高度0.8m～1.5m的區(qū)域。
2.0.20??空氣吹淋室????air?shower
????利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員表面附著粒子的小室。
2.0.21??氣閘室????air?lock
????設置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。
2.0.22??傳遞窗????pass?box
????在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側裝有不能同時開啟的窗扇。
2.0.23??潔凈工作臺????clean?bench
能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。
2.0.24??潔凈工作服????clean?working?garment
????為把工作人員產生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。
2.0.25??空態(tài)????as-built
????設施已經建成，其服務動力公用設施區(qū)接通并運行，但無生產設備、材料及人員的狀態(tài)。
2.0.26??靜態(tài)????at-rest
????設施已經建成，生產設備已經安裝好，并按供需雙方商定的狀態(tài)運行，但無生產人員的狀態(tài)。
2.0.27??動態(tài)????operational
????設施以規(guī)定的方式運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀態(tài)下進行工作。
2.0.28??已裝過濾器檢漏????installed?filter?system?leakage?test
????為確認過濾器安裝良好、沒有向潔凈室(區(qū))的旁路滲漏，過濾器及其框架均無缺陷和滲漏所做的檢測。
2.0.29??高效空氣過濾器????high?efficiency?particulate?air?filter?(HEPA)
????在額定風量下，對粒徑大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上的空氣過濾器。
2.0.30??超高效空氣過濾器????ultra?low?penetration?air?filter?(ULPA)
????在額定風量下，對粒徑0.1μm～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上的空氣過濾器。
2.0.31??純水????purity?water
????對電解質雜質含量和非電解質雜質含量均有要求的水。
2.0.32??防靜電環(huán)境????antistatic?environment
????能防止靜電危害的特定環(huán)境，在這一環(huán)境中不易產生靜電，靜電產生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。
2.0.33??表面電阻????surface?resistance
????在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。
2.0.34??體積電阻????volume?resistance
????在材料的相對兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。
2.0.35??表面電阻率????surface?resistivity
????在材料表面層的直流電場強度與穩(wěn)態(tài)電流線密度之商。
2.0.36??體積電阻率????volume?resistivity
????在材料內層的直流電場強度與穩(wěn)態(tài)電流密度之商。
2.0.37??專用消防口????fire-fight?access
????消防人員為滅火而進入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室外打開。
2.0.38??自凈時間????recovery?time?of?cleanliness
????潔凈室被污染后，凈化空調系統開始運行至恢復到穩(wěn)定的規(guī)定室內潔凈度等級所需的時間。
2.0.39??生物潔凈室????biological?clean?room
?潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內的限定空間。
2.0.40??浮游菌????airborne?viable?bacteria
????懸浮在空氣中的帶菌微粒。
2.0.41??沉降菌??settlemen?bacteria
????降落在培養(yǎng)皿上的帶菌微粒。
2.0.42??U描述符????U?descriptor
每立方米空氣中包括超微粒子的實測或規(guī)定濃度。U描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時引述，也可以單獨引述。
2.0.43??M描述符????M?descriptor
????每立方米空氣中實測的或規(guī)定的微粒子。M描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級，但它可與懸浮粒子潔凈度等級同時引述，也可以單獨引述。
2.0.44??工業(yè)管道????industrial?pipe
?潔凈廠房內，除給水排水管道和凈化空調、采暖通風管道外的氣體、液體管道，統稱為工業(yè)管道。
3??空氣潔凈度等級
3.0.1??潔凈室及潔凈區(qū)內空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級應符合下列規(guī)定：
????1??潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數等級應按表3.0.1確定。
表3.0.1?潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數等級
注：按不同的測量方法，各等級水平的濃度數據的有效數字不應超過3位。
????2??各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應按下式計算：
式中：Cn——大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整數，有效位數不超過三位數;
??????N——空氣潔凈度等級，數字不超過9，潔凈度等級整數之間的中間數可以按0.1為最小允許遞增量;
??????D——要求的粒徑(μm);
??????0.1——常數，其量綱為μm。
3??當工藝要求粒徑不止一個時，相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。
????4??空氣潔凈度等級的粒徑范圍應為0.1μm～0.5μm，超出粒徑范圍時可采用U描述符或M描述符補充說明。
3.0.2??空氣潔凈度等級所處狀態(tài)包括空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)，空氣潔凈度等級所處狀態(tài)應與業(yè)主協商確定。
3.0.3??空氣潔凈度的測試方法應按本規(guī)范附錄A的要求進行。
3.0.4??當潔凈室(區(qū))內的產品生產工藝要求控制微生物、化學污染物時，應根據工藝特點對各空氣潔凈度等級規(guī)定相應的微生物、化學污染物濃度限值。
4??總體設計
4.1??潔凈廠房位置選擇和總平面布置
4.1.1??潔凈廠房位置選擇應符合下列規(guī)定，并經技術經濟方案比較后確定：
????1??應在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。
????2??應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域。當不能遠離嚴重空氣污染源時，應位于最大頻率風向上風側，或全年最小頻率風向下風側。
????3??應布置在廠區(qū)內環(huán)境清潔，人流、物流不穿越或少穿越的地段。
4.1.2??對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定周圍現有振源的振動影響，并應與精密設備、精密儀器儀表容許振動值分析比較后確定。
4.1.3??潔凈廠房新風口與交通干道邊沿的最近距離宜大于50m。
4.1.4??潔凈廠房周圍宜設置環(huán)形消防車道，也可沿廠房的兩個長邊設置消防車道。
4.1.5??潔凈廠房周圍的道路面層應選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。
4.1.6??潔凈廠房周圍應進行綠化?？射佒膊萜?，不應種植對生產有害的植物，并不得妨礙消防作業(yè)。
4.2??工藝平面布置和設計綜合協調
4.2.1??工藝平面布置應符合下列規(guī)定：
????1??工藝平面布置應合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內應只布置必要的工藝設備，以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。
????2??在滿足生產工藝和噪聲要求的前提下，對空氣潔凈度要求嚴格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調節(jié)機房，空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置。
????3??潔凈室內對空氣潔凈度要求嚴格的工序應布置在上風側，易產生污染的工藝設備應布置在靠近回風口位置。
4??應考慮大型設備安裝和維修的運輸路線，并預留設備安裝口和檢修口。
????5??不同空氣潔凈度等級房間之間聯系頻繁時，宜設有防止污染的措施，如氣閘室、傳遞窗等。
????6??應設置單獨的物料入口，物料傳遞路線應最短，物料進入潔凈室(區(qū))之前應進行清潔處理。
4.2.2??潔凈廠房的平面和空間設計應滿足生產工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應分區(qū)布置，并應與生產操作、工藝設備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調系統等各種技術設施進行綜合協調。
4.2.3??潔凈廠房內應少設隔間，但在下列情況下應進行分隔：
????1??按生產的火災危險性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產區(qū)段之間，或有防火分隔要求者。
????2??按產品生產工藝需要有分隔要求時。
????3??生產聯系少，并經常不同時使用的兩個生產區(qū)段之間。
4.2.4??在滿足生產工藝和空氣潔凈度等級要求的條件下，潔凈廠房內各種固定技術設施的布置，應優(yōu)先考慮凈化空調系統的要求。固定技術設施包括送風口、照明器、回風口、各種管線等。
4.3??人員凈化和物料凈化
4.3.1??潔凈廠房內應設置人員凈化、物料凈化用室和設施，并應根據需要設置生活用室和其他用室。
4.3.2??人員凈化用室和生活用室的設置應符合下列規(guī)定：
????1??應設置存放雨具、換鞋、存外衣、更換潔凈工作服等人員凈化用室。
????2??廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌間和干燥間等可根據需要設置。
4.3.3??人員凈化用室和生活用室的設計應符合下列規(guī)定：
????1??人員凈化用室的入口處應設凈鞋措施。
2??存外衣、更換潔凈工作服的房間應分別設置。
????3??外衣存衣柜應按設計人數每人設一柜，潔凈工作服宜集中掛入帶有空氣吹淋的潔凈柜內。
????4??盥洗室應設洗手和烘干設施。
????5??空氣吹淋室應設在潔凈區(qū)人員入口處，并與潔凈工作服更衣室相鄰。單人空氣吹淋室按最大班人數每30人設一臺。潔凈區(qū)工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設旁通門。
????6??嚴于5級的垂直單向流潔凈室宜設氣閘室。
????7??潔凈區(qū)內不得設廁所。人員凈化用室內的廁所應設前室。
4.3.4??人流路線應符合下列規(guī)定：
?1??人流路線應避免往復交叉。
????2??人員凈化用室和生活用室的布置應按人員凈化程序(圖4.3.4)進行布置。
圖4.3.4?人員凈化程序
4.3.5??根據不同的空氣潔凈度等級和工作人員數量，潔凈廠房內人員凈化用室和生活用室的建筑面積應合理確定，并宜按潔凈區(qū)設計人數平均每人2m2～4m2計算。
4.3.6??潔凈工作服更衣室、洗滌室的空氣凈化要求宜根據產品工藝要求和相鄰潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級確定。
4.3.7??潔凈室內設備和物料出入口應根據設備和物料的性質、形狀等特征設置物料凈化用室及其設施。物料凈化用室的布置應防止凈化后物料在傳遞過程中被污染。
4.4??噪聲控制
4.4.1??潔凈室內的空態(tài)噪聲級，非單向流潔凈室不應大于60dB(A)，單向流、混合流潔凈室不應大于65dB(A)。
4.4.2??潔凈室的噪聲頻譜限制應采用倍頻程聲壓級，空態(tài)噪聲頻譜的限制值不宜大于表4.4.2中的規(guī)定。
表4.4.2?空態(tài)噪聲頻譜的限制值
4.4.3??潔凈廠房的平面和空間設計應考慮噪聲控制要求。潔凈室的圍護結構應有良好的隔聲性能，并宜使其各部分隔聲量相接近。
4.4.4??潔凈室內的各種設備均應選用低噪聲產品。對于輻射噪聲值超過潔凈室允許值的設備，宜設置專用隔聲或消聲設施。
4.4.5??凈化空調系統噪聲超過允許值時，應采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。除事故排風外，潔凈室內的排風系統應進行減噪設計。
4.4.6??根據室內容許噪聲級要求，凈化空調系統風管內風速宜符合下列規(guī)定：
????1??總風管風速宜為6m/s～10m/s。
????2??無送、回風口的支風管風速宜為4m/s～6m/s。
????3??有送、回風口的支風管風速宜為2m/s～5m/s。
4.5??微振控制
4.5.1??有微振控制要求的潔凈廠房設計應符合下列規(guī)定：
????1??在結構選型、隔振縫設置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處，應按微振控制要求設計。
????2??潔凈室與周圍輔助性站房內有強烈振動的設備及連接管道應采取主動隔振措施。
????3??應測定潔凈廠房內、外各類振源對潔凈廠房精密設備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響，以決定是否采取被動隔振措施。
4.5.2??精密設備、精密儀器儀表的容許振動值應由生產工藝和設備制造部門提供。當生產工藝和設備制造部門難以提供容許振動值時，可按現行國家標準《隔振設計規(guī)范》GB?50463的有關規(guī)定執(zhí)行。
4.5.3??精密設備、精密儀器儀表的被動隔振設計應具備下列條件：
????1??周圍振源對其綜合影響的振動數據。
????2??設備、儀器儀表的型號、規(guī)格及輪廓尺寸圖。
????3??設備、儀器儀表的質量、質心位置及質量慣性矩。
????4??設備、儀器儀表的底座外輪廓圖，附屬裝置，管道位置及坑、溝、孔洞尺寸，地腳螺栓及預埋件位置等。
????5??設備、儀器儀表的調平要求。
????6??設備、儀器儀表的容許振動值。
????7??所選用或設計的隔振器或隔振裝置的技術參數、外形尺寸及安裝條件。
4.5.4??精密設備、精密儀器儀表的被動隔振設計應符合下列規(guī)定：
????1??隔振臺座應具有足夠的剛度。
????2??隔振臺座應采取傾斜校正措施。
????3??隔振系統各向阻尼比不應小于0.15。
????4??隔振措施不應影響潔凈室內的氣流流型。
4.5.5??精密設備、精密儀器儀表的被動隔振措施宜采用能自動校正傾斜的空氣彈簧隔振裝置。對供應空氣彈簧用的氣源應進行凈化處理。
5??建筑
5.1??一般規(guī)定
5.1.1??潔凈廠房的建筑平面和空間布局應具有適當的靈活性。主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不宜采用內墻承重體系。
5.1.2??潔凈廠房圍護結構的材料選型應符合保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵等要求。
5.1.3??潔凈廠房主體結構的耐久性應與室內裝備和裝修水平相協調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。
5.1.4??送、回風管和其他管線暗敷時，應設置技術夾層、技術夾道或地溝等。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井，其形式、尺寸和構造應符合風道、管線的安裝、檢修和防火要求。
5.1.5??對兼有一般生產和潔凈生產的綜合性廠房的平面布局和構造處理，應避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產帶來不利的影響。
5.2??防火和疏散
5.2.1??潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。
5.2.2??潔凈廠房內生產工作間的火災危險性，應符合現行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB?50016的有關規(guī)定。潔凈廠房生產工作間的火災危險性分類舉例應符合本規(guī)范附錄B的規(guī)定。
5.2.3??生產類別為甲、乙類生產的潔凈廠房宜為單層廠房，其防火分區(qū)最大允許建筑面積，單層廠房宜為3000m2，多層廠房宜為2000m2。丙、丁、戊類生產的潔凈廠房的防火分區(qū)最大允許建筑面積應符合現行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB?50016的有關規(guī)定。
5.2.4??潔凈室的頂棚、壁板及夾芯材料應為不燃燒體，且不得采用有機復合材料。頂棚和壁板的耐火極限不應低于0.4h，疏散走道頂棚的耐火極限不應低于1.0h。
5.2.5??在一個防火分區(qū)內的綜合性廠房，潔凈生產區(qū)與一般生產區(qū)域之間應設置不燃燒體隔斷措施。隔墻及其相應頂棚的耐火極限不應低于1h，隔墻上的門窗耐火極限不應低于0.6h。穿隔墻或頂板的管線周圍空隙應采用防火或耐火材料緊密填堵。
5.2.6??技術豎井井壁應為不燃燒體，其耐火極限不應低于1h。井壁上檢查門的耐火極限不應低于0.6h;豎井內在各層或間隔一層樓板處，應采用相當于樓板耐火極限的不燃燒體作水平防火分隔;穿過水平防火分隔的管線周圍空隙應采用防火或耐火材料緊密填堵。
5.2.7??潔凈廠房每一生產層，每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口數量不應少于2個。當符合下列要求時可設1個：
????1??對甲、乙類生產廠房每層的潔凈生產區(qū)總建筑面積不超過100m2，且同一時間內的生產人員總數不超過5人。
?2??對丙、丁、戊類生產廠房，應按現行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB?50016的有關規(guī)定設置。
5.2.8??安全出入口應分散布置，從生產地點至安全出口不應經過曲折的人員凈化路線，并應設有明顯的疏散標志，安全疏散距離應符合現行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB?50016的有關規(guī)定。
5.2.9??潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應向疏散方向開啟，并應加閉門器。安全疏散門不應采用吊門、轉門、側拉門、卷簾門以及電控自動門。
5.2.10??潔凈廠房同層潔凈室(區(qū))外墻應設可供消防人員通往廠房潔凈室(區(qū))的門窗，其門窗洞口間距大于80m時，應在該段外墻的適當部位設置專用消防口。
????專用消防口的寬度不應小于750mm，高度不應小于1800mm，并應有明顯標志。樓層的專用消防口應設置陽臺，并從二層開始向上層架設鋼梯。
5.2.11??潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗，均不應作為火災發(fā)生時提供消防人員進入廠房的入口。
5.3??室內裝修
5.3.1??潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小、污染物濃度符合現行國家有關標準規(guī)定限值的材料。潔凈室裝飾材料及密封材料不得采用釋放對室內各種產品品質有影響物質的材料。
5.3.2??潔凈室內墻壁和頂棚的裝修應符合下列規(guī)定：
????1??潔凈室內墻壁和頂棚的表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光，便于除塵，并應減少凹凸面。
2??踢腳不應突出墻面。
????3??潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面，當必須采用時宜采用干燥作業(yè)，抹灰應采用符合現行國家標準《建筑裝飾裝修工程質量驗收規(guī)范》GB?50210中高級抹灰的要求。墻面抹灰后應刷涂料面層，并應選用難燃、不開裂、耐腐蝕、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質發(fā)霉的涂料。
5.3.3??潔凈室地面設計應符合下列規(guī)定：
????1??潔凈室地面應符合生產工藝要求。
????2??潔凈室地面應平整，耐磨、易清洗、不開裂，且不易積聚靜電。
????3??地面墊層宜配筋，潮濕地區(qū)墊層應有防潮措施。
5.3.4??潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚表面宜平整、光滑，位于地下的技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。
5.3.5??潔凈室(區(qū))和人員凈化用室設置外窗時，應采用雙層玻璃固定窗，并應有良好的氣密性。
5.3.6??潔凈室內的密閉門應朝空氣潔凈度較高的房間開啟，并應加設閉門器，無窗潔凈室的密閉門上宜設觀察窗。
5.3.7??潔凈室門窗、墻壁、頂棚等的設計應符合下列規(guī)定：
????1??潔凈室門窗、墻壁、頂棚、地(樓)面及施工縫隙均應采取可靠的密閉措施。
2??當采用輕質構造頂棚做技術夾層時，夾層內宜設檢修通道。
????3??潔凈室窗宜與內墻面齊平，不宜設窗臺。
5.3.8??潔凈室內的色彩宜淡雅柔和。室內頂棚和墻面表面材料的光反射系數宜為0.6～0.8，地面表面材料的光反射系數宜為0.15～0.35。
5.3.9??潔凈度等級嚴于8級的潔凈室的墻板和頂棚宜采用輕質壁板。
5.3.10??室內裝修材料的燃燒性能必須符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規(guī)范》GB?50222的有關規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應大于50，材料的煙密度等級試驗應符合現行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T?8627的有關規(guī)定。
6??空氣凈化
6.1??一般規(guī)定
6.1.1??潔凈廠房內各潔凈室的空氣潔凈度等級應滿足生產工藝對生產環(huán)境的潔凈要求。
6.1.2??應根據空氣潔凈度等級的不同要求，選用不同的氣流流型。
6.1.3??下列情況之一者，其凈化空調系統宜分開設置：
????1??運行班次或使用時間不同。
????2??生產工藝中某工序散發(fā)的物質或氣體對其他工序的產品質量有影響。
????3??對溫、濕度控制要求差別大。
????4??凈化空調系統與一般空調系統。
6.1.4??潔凈室的溫、濕度范圍應符合表6.1.4的規(guī)定。
表6.1.4?潔凈室的溫、濕度范圍
6.1.5??潔凈室內的新鮮空氣量應取下列兩項中的最大值：
????1??補償室內排風量和保持室內正壓值所需新鮮空氣量之和。
????2??保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
6.1.6??潔凈區(qū)的清掃宜采用移動式高效真空吸塵器，但空氣潔凈度等級為1級～5級的單向流潔凈室宜設置集中式真空吸塵系統。潔凈室內的吸塵系統管道應暗敷，吸塵口應加蓋封堵。
6.1.7??凈化空調系統設計對維護管理的要求應符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定。
6.2??潔凈室壓差控制
6.2.1??潔凈室(區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。
6.2.2??不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不應小于10Pa。
6.2.3??潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風量，根據潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數法確定。
6.2.4??送風、回風和排風系統的啟閉宜聯鎖。正壓潔凈室聯鎖程序應先啟動送風機，再啟動回風機和排風機;關閉時聯鎖程序應相反。
????負壓潔凈室聯鎖程序應與上述正壓潔凈室相反。
6.2.5??非連續(xù)運行的潔凈室，可根據生產工藝要求設置值班送風，并應進行凈化空調處理。
6.3??氣流流型和送風量
6.3.1??氣流流型的設計應符合下列規(guī)定：
????1??潔凈室(區(qū))的氣流流型和送風量應符合表6.3.3的要求?？諝鉂崈舳鹊燃壱髧烙?級時，應采用單向流;空氣潔凈度等級為4級～5級時，應采用單向流;空氣潔凈度等級為6級～9級時，應采用非單向流。
????2??潔凈室工作區(qū)的氣流分布應均勻。
????3??潔凈室工作區(qū)的氣流流速應符合生產工藝要求。
6.3.2??潔凈室的送風量應取下列三項中的最大值：
????1??滿足空氣潔凈度等級要求的送風量。
????2??根據熱、濕負荷計算確定的送風量。
????3??按本規(guī)范第6.1.5條的要求向潔凈室內供給的新鮮空氣量。
6.3.3??為保證空氣潔凈度等級的送風量，應按表6.3.3中的有關數據進行計算或按室內發(fā)塵量進行計算。
表6.3.3?氣流流型和送風量
注：1?換氣次數適用于層高小于4.0m的潔凈室;
2?應根據室內人員、工藝設備的布置以及物料傳輸等情況采用上、下限值
6.3.4??潔凈室內各種設施的布置應考慮對氣流流型和空氣潔凈度的影響，并應符合下列規(guī)定：
????1??單向流潔凈室內不宜布置潔凈工作臺，非單向流潔凈室的回風口宜遠離潔凈工作臺。
????2??需排風的工藝設備宜布置在潔凈室下風側。
????3??有發(fā)熱設備時，應采取措施減少熱氣流對氣流分布的影響。
????4??余壓閥宜布置在潔凈氣流的下風側。
6.4??空氣凈化處理
6.4.1??空氣過濾器的選用、布置和安裝方式應符合下列規(guī)定：
????1??空氣凈化處理應根據空氣潔凈度等級合理選用空氣過濾器。
????2??空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量。
????3??中效或高中效空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段。
????4??亞高效過濾器和高效過濾器作為末端過濾器時宜設置在凈化空調系統的末端，超高效過濾器應設置在凈化空調系統的末端。
?5??設置在同一潔凈室內的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近。
????6??高效(亞高效、超高效)空氣過濾器安裝方式應嚴密、簡便、可靠，易于檢漏和更換。
6.4.2??對較大型的潔凈廠房的凈化空調系統的新風宜集中進行空氣凈化處理。
6.4.3??凈化空調系統設計應合理利用回風。
6.4.4??凈化空調系統的風機宜采取變頻措施。
6.4.5??嚴寒及寒冷地區(qū)的新風系統應設置防凍保護措施。
6.5??采暖通風、防排煙
6.5.1??空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室不得采用散熱器采暖。
6.5.2??潔凈室內產生粉塵和有害氣體的工藝設備，應設局部排風裝置。
6.5.3??在下列情況下，局部排風系統應單獨設置：
????1??排風介質混合后能產生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性和發(fā)生交叉污染。
????2??排風介質中含有毒性的氣體。
????3??排風介質中含有易燃、易爆氣體。
6.5.4??潔凈室的排風系統設計應符合下列規(guī)定：
1??應防止室外氣流倒灌。
????2??含有易燃、易爆物質的局部排風系統應按物理化學性質采取相應的防火防爆措施。
????3??排風介質中有害物濃度及排放速率超過國家或地區(qū)有害物排放濃度及排放速率規(guī)定時，應進行無害化處理。
????4??對含有水蒸氣和凝結性物質的排風系統，應設坡度及排放口。
6.5.5??換鞋、存外衣、盥洗、廁所和淋浴等生產輔助房間應采取通風措施，其室內的靜壓值應低于潔凈區(qū)。
6.5.6??根據生產工藝要求應設置事故排風系統。事故排風系統應設自動和手動控制開關，手動控制開關應分別設在潔凈室內、外便于操作處。
6.5.7??潔凈廠房排煙設施的設置應符合下列規(guī)定：
????1??潔凈廠房中的疏散走廊應設置機械排煙設施。
????2??潔凈廠房設置的排煙設施應符合現行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB?50016的有關規(guī)定。
6.6??風管和附件
6.6.1??凈化空調系統的新風管段應設置電動密閉閥、調節(jié)閥，送、回風管段應設置調節(jié)閥，潔凈室內的排風系統應設置調節(jié)閥、止回閥或電動密閉閥。
6.6.2??下列情況之一的通風、凈化空調系統的風管應設防火閥：
????1??風管穿越防火分區(qū)的隔墻處，穿越變形縫的防火隔墻的兩側。
????2??風管穿越通風、空氣調節(jié)機房的隔墻和樓板處。
????3??垂直風管與每層水平風管交接的水平管段上。
6.6.3??凈化空調系統的風管和調節(jié)風閥、高效空氣過濾器的保護網、孔板、擴散孔板等附件的制作材料和涂料，應符合輸送空氣的潔凈度要求及其所處的空氣環(huán)境條件的要求。
????潔凈室內排風系統的風管和調節(jié)閥、止回閥、電動密閉閥等附件的制作材料和涂料，應符合排除氣體的性質及其所處的空氣環(huán)境條件的要求。
6.6.4??凈化空調系統的送、回風總管及排風系統的吸風總管段上宜采取消聲措施，滿足潔凈室內噪聲要求。
????凈化空調系統的排風管或局部排風系統的排風管段上，宜采取消聲措施，滿足室外環(huán)境區(qū)域噪聲標準的要求。
6.6.5??在空氣過濾器的前、后應設置測壓孔或壓差計。在新風管、送風、回風總管段上，宜設置風量測定孔。
6.6.6??風管、附件及輔助材料的耐火性能應符合下列規(guī)定：
????1??凈化空調系統、排風系統的風管應采用不燃材料。
????2??排除有腐蝕性氣體的風管應采用耐腐蝕的難燃材料。
????3??排煙系統的風管應采用不燃材料，其耐火極限應大于0.5h。
????4??附件、保溫材料、消聲材料和粘結劑等均采用不燃材料或難燃材料。
7??給水排水
7.1??一般規(guī)定
7.1.1??潔凈廠房內的給水排水干管應敷設在技術夾層或技術夾道內，也可埋地敷設。潔凈室內管道宜暗裝，與本房間無關的管道不宜穿過。
7.1.2??管道外表面可能結露時，應采取防護措施。防結露層外表面應光滑，易于清洗，并不得對潔凈室造成污染。
7.1.3??管道穿過潔凈室墻壁、樓板和頂棚時應設套管，管道和套管之間應采取可靠的密封措施。無法設置套管的部位也應采取有效的密封措施。
7.2??給水
7.2.1??潔凈廠房內的給水系統應符合生產、生活和消防等各項用水對水質、水溫、水壓和水量的要求，并應分別設置。管道的設計應留有余量，以適應工藝變動。
7.2.2??水質要求較高的純水供水管道應采用循環(huán)供水方式，并應符合下列規(guī)定：
????1??循環(huán)附加水量應為使用水量的30%～100%。
????2??干管流速應為1.5m/s～3m/s。
????3??不循環(huán)的支管長度應盡量短，其長度不應大于6倍管徑。
????4??供水干管上應設有清洗口。
????5??管道系統各組成部分應密封，不得有滲氣現象。
7.2.3??管材選擇應符合下列規(guī)定：
1??純水管道的管材應符合生產工藝對水質的要求，可選擇不銹鋼管或工程塑料管。
????2??工藝設備用循環(huán)冷卻給水和回水管可采用熱鍍鋅鋼管、不銹鋼管或工程塑料管等。
????3??管道配件應采用與管道相應的材料。
7.2.4??循環(huán)冷卻水管道應預留清洗口。
7.2.5??潔凈廠房周圍應設置灑水設施。
7.3??排水
7.3.1??排水系統應符合工藝設備排出的廢水性質、濃度和水量等要求。有害廢水應經廢水處理，達到國家排放標準后排出。
7.3.2??潔凈室內的排水設備以及與重力回水管道相連接的設備，必須在其排出口以下部位設水封裝置，排水系統應設有完善的透氣裝置。
7.3.3??潔凈室內地漏等排水設施的設置應符合下列規(guī)定：
????1??空氣潔凈度等級嚴于6級的潔凈室內不應設地漏。
????2??6級潔凈室內不宜設地漏，如必須設置時，應采用專用地漏。
?3??空氣潔凈度等級等于或嚴于7級的潔凈室內不宜設排水溝。
????4??空氣潔凈度等級等于或嚴于7級的潔凈室內不應穿過排水立管，其他潔凈室內穿過排水立管時不應設檢查口。
7.3.4??潔凈廠房內應采用不易積存污物、易于清洗的衛(wèi)生設備、管道、管架及其附件。
7.3.5??潔凈廠房宜設置消防排水設施。
7.4??消防給水和滅火設備
7.4.1??潔凈廠房必須設置消防給水設施，消防給水設施設置設計應根據生產的火災危險性、建筑物耐火等級以及建筑物的體積等因素確定。
7.4.2??潔凈廠房的消防給水和固定滅火設備的設置應符合現行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB?50016的有關規(guī)定。
7.4.3??潔凈室的生產層及可通行的上、下技術夾層應設置室內消火栓。消火栓的用水量不應小于10L/s，同時使用水槍數不應少于2只，水槍充實水柱長度不應小于10m，每只水槍的出水量應按不小于5L/s計算。
7.4.4??潔凈廠房內各場所必須配置滅火器，配置滅火器設計應符合現行國家標準《建筑滅火器配置設計規(guī)范》GB?50140的有關規(guī)定。
7.4.5??潔凈廠房內設有貴重設備、儀器的房間設置固定滅火設施時，除應符合現行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB?50016的有關規(guī)定外，還應符合下列規(guī)定：
????1??當設置自動噴水滅火系統時，宜采用預作用式自動噴水滅火系統。
????2??當設置氣體滅火系統時，不應采用鹵代烷1211以及能導致人員窒息和對保護對象產生二次損害的滅火劑。
8??工業(yè)管道
8.1??一般規(guī)定
8.1.1??潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設應符合下列規(guī)定：
????1??潔凈室(區(qū))內工業(yè)管道不應穿越無關的房間。
????2??干管應敷設在上、下技術夾層或技術夾道內。
????3??易燃、易爆、有毒物質管道應明敷。
????4??當易燃、易爆、有毒物質管道敷設在技術夾層或技術夾道內時，必須采取可靠的濃度檢測報警、通風措施。
8.1.2??潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設計應符合現行國家標準《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》GB?50316的有關規(guī)定。
8.1.3??工業(yè)管道設計應符合下列規(guī)定：
????1??應按輸送介質的物化性質，合理確定管內物料流速和管徑。
????2??在滿足生產工藝的條件下，管道系統應盡量短。
????3??應避免出現不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。
????4??管道系統應設必需的吹除口、放凈口和取樣口。
8.1.4??工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施。
8.1.5??可燃氣體管道、氧氣管道的末端或最高點均應設置放散管。放散管引至室外應高出屋脊1m，并應有防雨、防雜物侵入的措施。
8.1.6??氣體凈化裝置的選擇和配置應符合氣源和生產工藝對氣體純度的要求。氣體終端凈化裝置宜設在鄰近用氣點處。
8.1.7??氣體過濾器的選擇和配置應符合生產工藝對氣體潔凈度的要求。高純氣體終端過濾器應設在靠近用氣點處。
8.1.8??潔凈廠房內、生產類別為現行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB?50016規(guī)定的甲、乙類氣體、液體入口室或分配室的設置應符合下列規(guī)定：
????1??當毗連布置時，應設在單層廠房靠外墻或多層廠房的最上一層靠外墻處，并應與相鄰房間采用耐火極限大于3.0h的隔墻分隔。
?2??應有良好的通風。
????3??泄壓設施和電氣防爆應按現行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB?50016、《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB?50058的有關規(guī)定執(zhí)行。
8.2??管道材料和閥門
8.2.1??工業(yè)管道材料和閥門應根據所輸送物料的物化性質和使用工況選用，并應滿足生產工藝的要求和使用特點，經技術經濟比較后確定。
8.2.2??高純氣體管道和閥門的選用應符合生產工藝的要求，并應符合下列規(guī)定：
????1??當氣體純度大于或等于99.999%，露點低于-76℃時，應采用內壁電拋光的低碳不銹鋼管或內壁光亮拋光的不銹鋼管。閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥。
?2??當氣體純度大于或等于99.99%，露點低于-60℃時，應采用內壁光亮拋光的不銹鋼管。除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外，其他氣體管道宜采用球閥。
8.2.3??當干燥壓縮空氣露點低于-70℃時，應采用內壁光亮拋光的不銹鋼管;當露點低于-40℃時，宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。
8.2.4??閥門材質宜與相連接的管道材質相適應。
8.3??管道連接
8.3.1??工業(yè)管道的連接應符合下列規(guī)定：
????1??管道連接應采用焊接，熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。
????2??不銹鋼管應采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接;高純氣體管道宜采用內壁無斑痕的對接焊。
8.3.2??管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。
8.3.3??管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應符合下列規(guī)定：
????1??螺紋或法蘭連接處的密封材料應根據輸送物料性質、設計工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。
2??高純氣體管道與閥門連接的密封材料應按生產工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。
8.3.4??潔凈室(區(qū))內的工業(yè)管道應根據管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構造。冷管道保溫后的外表面溫度不應低于環(huán)境的露點溫度。保溫層外表面應采用不產生塵粒、微生物的材料，并應平整、光潔，宜采用金屬外殼保護。
8.4??安全技術
8.4.1??下列部位應設可燃氣體報警裝置和事故排風裝置，報警裝置應與相應的事故排風機連鎖：
????1??生產類別為甲類的氣體、液體入口室或分配室。
????2??管廊，上、下技術夾層，技術夾道內有可燃氣體的易積聚處。
????3??潔凈室內使用可燃氣體處。
8.4.2??可燃氣體管道應采取下列安全技術措施：
????1??接至用氣設備的支管宜設置阻火器。
????2??引至室外的放散管應設置阻火器，并應設置防雷保護設施。
????3??應設導除靜電的接地設施。
8.4.3??氧氣管道應采取下列安全技術措施：
????1??管道及其閥門、附件應經嚴格脫脂處理。
????2??應設導除靜電的接地設施。
8.4.4??工業(yè)管道應按不同介質設明顯的標識。
8.4.5??各種氣瓶庫應集中設置在潔凈廠房外。當日用氣量不超過1瓶時，氣瓶可設置在潔凈室內，應采取不積塵和易于清潔的措施。
9??電氣
9.1??配電
9.1.1??潔凈廠房低壓配電設計應采用220/380V。帶電導體系統的形式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統接地的形式宜采用TN-S或TN-C-S系統。
9.1.2??潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求應按現行國家標準《供配電系統設計規(guī)范》GB?50052的有關規(guī)定和生產工藝要求確定。主要生產工藝設備應由專用變壓器或專用低壓饋電線路供電，有特殊要求的工作電源宜設置不間斷電源(UPS)。凈化空調系統用電負荷、照明負荷應由變電所專線供電。
9.1.3??潔凈廠房消防用電設備的供配電設計應按現行國家標準《建筑防火設計規(guī)范》GB?50016有關規(guī)定執(zhí)行。
9.1.4??電源進線應設置切斷裝置，并宜設在潔凈區(qū)外便于管理的地點。
9.1.5??潔凈室內的配電設備應選擇不易積塵、便于擦拭的小型暗裝設備，不宜設置大型落地安裝的配電設備。
9.1.6??潔凈室內的電氣管線宜暗敷，穿線導管應采用不燃材料。潔凈區(qū)的電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設備與墻體接縫處應有可靠的密封措施。
9.2??照明
9.2.1??潔凈室內照明光源宜采用高效熒光燈。若工藝有特殊要求或照度值達不到設計要求時，可采用其他形式光源。
9.2.2??潔凈室內一般照明燈具應為吸頂明裝。當燈具嵌入頂棚暗裝時，安裝縫隙應有可靠的密封措施。潔凈室應采用潔凈室專用燈具。
9.2.3??無采光窗的潔凈室(區(qū))的生產用房間一般照明的照度標準值宜為200lx～500lx，輔助用房、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等宜為150lx～300lx。
9.2.4??潔凈室內一般照明的照度均勻度不應小于0.7。
9.2.5??潔凈廠房內備用照明的設置應符合下列規(guī)定：
1??潔凈廠房內應設置備用照明。
????2??備用照明宜作為正常照明的一部分。
????3??備用照明應滿足所需場所或部位進行必要活動和操作的最低照度。
9.2.6??潔凈廠房內應設置供人員疏散用的應急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉角處應按現行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB?50016的有關規(guī)定設置疏散標志。在專用消防口處應設置疏散標志。
9.2.7??潔凈廠房中有爆炸危險的房間的照明燈具和電氣線路的設計，應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB?50058的有關規(guī)定。
9.3??通信
9.3.1??潔凈廠房內應設置與廠房內、外聯系的通信裝置。潔凈廠房內生產區(qū)與其他工段的聯系宜設生產對講電話。
9.3.2??潔凈廠房根據生產管理和生產工藝特殊需要，宜設置閉路電視監(jiān)視系統。
9.3.3??潔凈廠房的生產層、技術夾層、機房、站房等均應設置火災報警探測器。潔凈廠房生產區(qū)及走廊應設置手動火災報警按鈕。
9.3.4??潔凈廠房應設置消防值班室或控制室，并不應設在潔凈區(qū)內。消防值班室應設置消防專用電話總機。
9.3.5??潔凈廠房的消防控制設備及線路連接應可靠?？刂圃O備的控制及顯示功能應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規(guī)范》GB?50116的有關規(guī)定。潔凈區(qū)內火災報警應進行核實，并應進行下列消防聯動控制：
????1??應啟動室內消防水泵，接收其反饋信號。除自動控制外，還應在消防控制室設置手動直接控制裝置。
????2??應關閉有關部位的電動防火閥，停止相應的空調循環(huán)風機、排風機及新風機，并應接收其反饋信號。
?3??應關閉有關部位的電動防火門、防火卷簾門。
????4??應控制備用應急照明燈和疏散標志燈燃亮。
????5??在消防控制室或低壓配電室，應手動切斷有關部位的非消防電源。
????6??應啟動火災應急擴音機，進行人工或自動播音。
????7??應控制電梯降至首層，并接收其反饋信號。
9.3.6??潔凈廠房中易燃、易爆氣體、液體的貯存和使用場所及入口室或分配室應設可燃氣體探測器。有毒氣體、液體的貯存和使用場所應設氣體檢測器。報警信號應聯動啟動或手動啟動相應的事故排風機，并應將報警信號送至消防控制室。
9.4??自動控制
9.4.1??潔凈廠房宜設置凈化空調系統等的自動監(jiān)控裝置。
9.4.2??潔凈室凈化空調系統宜選用變頻調速控制的風機。
9.4.3??凈化空調系統的電加熱器應設置無風、超溫斷電保護裝置。當采用電加濕器時，應設置無水保護裝置。
9.5??靜電防護及接地
9.5.1??潔凈廠房應根據工藝生產要求采取靜電防護措施。
9.5.2??潔凈室(區(qū))內的防靜電地面，其性能應符合下列規(guī)定：
????1??地面的面層應具有導電性能，并應保持長時間性能穩(wěn)定。
????2??地面的面層應采用靜電耗散性的材料，其表面電阻率應為1.0×105Ω/□～1.0×1012Ω/□或體積電阻率為1.0×104Ω·cm～1.0×1011Ω·cm。
????3??地面應設有導電泄放措施和接地構造，其對地泄放電阻值應為1.0×105Ω～1.0×109Ω。
9.5.3??潔凈室的凈化空調系統應采取防靜電接地措施。
9.5.4??潔凈室內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災危險場所的設備、管道應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB?50058的有關規(guī)定。
9.5.5??防靜電接地系統應分別按不同要求設置接地連接端子。在一個房間內應設置等電位的接地網格或閉合的接地銅排環(huán)。
在防靜電接地系統各個連接部位之間電阻值應小于0.1Ω。
9.5.6??潔凈廠房內不同功能的接地系統的設計均應遵循等電位聯結的原則，其中直流接地系統不能與交流接地系統混接。直流工作接地的接地干線應單獨絕緣敷設，并應使用絕緣屏蔽電纜。
9.5.7??接地系統采用綜合接地方式時接地電阻值應小于或等于1Ω：選擇分散接地方式時，各種功能接地系統的接地體必須遠離防雷接地系統的接地體，兩者應保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統設計應符合現行國家標準《建筑物防雷設計規(guī)范》GB?50057的有關規(guī)定。
附錄A??潔凈室或潔凈區(qū)性能測試和認證
A.1??通則
A.1.1??潔凈室或潔凈區(qū)應監(jiān)測或定期進行性能測試，以認證該潔凈室或潔凈區(qū)始終符合本規(guī)范的要求。
A.1.2??潔凈室或潔凈區(qū)性能測試認證工作應由專門檢測認證單位承擔，并提交檢測報告。
A.2??潔凈室或潔凈區(qū)性能測試要求
A.2.1??潔凈室或潔凈區(qū)應進行下列三項測試：
????1??空氣潔凈度測試。生物潔凈室應進行浮游菌、沉降菌測試。
????2??靜壓差測試。
????3??風速或風量測試。
A.2.2??潔凈室或潔凈區(qū)的三項測試應符合下列規(guī)定：
????1??空氣潔凈度測試應符合表A.2.2-1的規(guī)定。
表A.2.2-1?空氣潔凈度測試
????2??靜壓差、風速或風量測試應符合表A.2.2-2的規(guī)定。
表A.2.2-2?靜壓差、風速或風量測試
A.1.3??測試和認證工作之前，系統應達到穩(wěn)定運行。測試和監(jiān)測儀表應在標定證書有效使用期內。
A.2.3??當潔凈室或潔凈區(qū)已對粒子濃度、風速或風量、靜壓差執(zhí)行連續(xù)監(jiān)測，并且其測試值均符合本規(guī)范要求，則認證的測試時間間隔可延長。具體間隔時間可與認證單位洽商，并應符合下列規(guī)定：
????1??空氣潔凈度等級認證可進行靜態(tài)或動態(tài)檢測，應洽商確定。
????2??風量測定采用風速計在風口或風管測定。
A.2.4??潔凈室或潔凈區(qū)洽商選擇的測試要求應符合表A.2.4的規(guī)定。
表A.2.4?潔凈室或潔凈區(qū)洽商選擇的測試
A.3??潔凈室主要測試方法
A.3.1??風量或風速測試應符合下列規(guī)定：
????1??對于單向流潔凈室，采用室截面平均風速和截面乘積的方法確定送風量，測點位于高效過濾器出風面約150mm～300mm,垂直氣流處的截面作為采樣截面，截面上測點間距不宜大于0.6m，測點數不應少于4點，所有讀數的算術平均值作為平均風速。
????2??對于非單向流潔凈室，采用風口或風管法確定送風量，可按現行國家標準《通風與空調工程施工質量驗收規(guī)范》GB?50243規(guī)定的方法執(zhí)行。
A.3.2??靜壓差測試應符合下列規(guī)定：
1??靜壓差的測定應在潔凈室(區(qū))的風速、風量和送風均勻性檢測合格后進行，并應在所有的門關閉時檢測。
????2??儀器宜采用各種微差壓力計，儀表靈敏度應小于1.0Pa。
A.3.3??已安裝過濾器檢漏測試應符合下列規(guī)定：
????1??檢漏方法有光度計法和粒子計數器法。
????2??在過濾器上風側應引入測試用氣溶膠，在過濾器下風側用光度計或粒子計數器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面2cm～3cm處，以5mm/s～15mm/s的掃描速度移動，并應注意安裝交接處的掃描。
A.3.4??密閉性測試應用于確認有無被污染的空氣從相鄰潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))通過吊頂、隔墻等表面或門、窗滲漏入潔凈室(區(qū))。一般適用于1級至5級的潔凈室(區(qū))進行測試。采用光度計法和粒子計數器法進行測試。
A.3.5??潔凈度的檢測應符合下列規(guī)定：
????1??使用采樣量大于1L/min的光學粒子計數器，在儀器選用時應考慮粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數效率。儀器應有有效的標定合格證書。
????2??最少采樣點數應按下式計算：
NL=A0.5????????????(A.3.5-1)
??式中：NL——最少采樣點;
?A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(m2)。
????3??采樣點應均勻分布于潔凈室或潔凈區(qū)的整個面積內，并位于工作活動的高度，活動高度宜距地面0.8m;每個采樣點的最小采樣時間為1min。
????4??每一采樣點的每次采樣量應至少為2L，采樣量應按下式計算：
??式中：VS——每個采樣點的每次采樣量，以L表示;當VS很大時，可使用順序采樣法;
?Cn·m——被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值(pc/m3);
????????20——在規(guī)定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時，可測到的粒子顆數(pc)。
????5??當潔凈室或潔凈區(qū)僅有一個采樣點時，則在該點應至少采樣3次。
A.3.6??對超出等級范圍粒子的檢測應符合下列規(guī)定：
????1??在產品生產工藝有要求時，可按等級粒徑范圍之外的粒子濃度規(guī)定空氣潔凈度的水平。此類粒子的最大允許濃度和檢測方法應由客戶與建造商協商確定。
2??當需評價小于0.1μm的粒子造成的污染危險時，應采用符合這類粒子具體特性的采樣方法和裝置;可獨立應用U描述符說明超微粒子濃度，也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級的補充說明。
????U描述符用“U(χ，y)”表示，其中χ為超微粒子的最大允許濃度(pc/m3)，y為以微米計的粒徑。
????例如：粒徑范圍等于或大于0.01μm的最大允許超微粒子的濃度為140?000個/m3，應表示為“U(140?000，0.01μm)”。
3??當需評價大于5μm的粒子造成的污染危險時，應采用符合這類粒子具體特性的采樣裝置和方法?？瑟毩肕描述符說明大于5μm的粒子濃度，也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級的補充說明。
????M描述符用“M(a，b);c”表示，其中a為大粒子的最大允許濃度(pc/m3)，b為與規(guī)定的大粒子測量方法相應的當量直徑(μm)，c為規(guī)定的測量方法。
?例如：采用顯微鏡對多級撞擊采樣器采集的粒子進行檢測，測量得到10μm～20μm粒徑范圍的懸浮粒子濃度為1000個/m3，則用M描述符表示為“M(1000;10μm～20μm);多級撞擊采樣器以顯微鏡測定粒徑并計數”。
A.4??監(jiān)測
A.4.1??按照雙方協議書的規(guī)定進行空氣中懸浮粒子濃度和其他參數的監(jiān)測。
A.4.2??雙方協議書中應明確測量空氣懸浮粒子濃度最少采樣點、每次最少的空氣采樣量、采樣時間、每個采樣點的測量次數、測量時間間隔、被計數粒子的粒徑，以及粒子數的限值。
A.4.3??當監(jiān)測結果超過規(guī)定的限值時，則應認定設施不符合要求，應進行修正;修正后應再進行認證檢測。當監(jiān)測結果在規(guī)定限值內，可繼續(xù)監(jiān)測。
A.5??認證
A.5.1??按雙方協議書的規(guī)定及第A.2節(jié)的要求，按第A.3節(jié)的方法進行測試，當測試結果在規(guī)定的限值之內時，可認定該潔凈室符合規(guī)定要求。當測試結果超過規(guī)定的限值，可認定該潔凈室不符合要求，應進行改進，在完成改進工作之后，應進行再認證。
A.5.2??記錄數據評價應符合下列規(guī)定：
????1??在空氣潔凈度測試中，當測點在1點～10點時，應計算平均中值、標準偏差、標準誤差和由全部采樣點的平均粒子濃度導出95%置信上限值。
????2??當采樣點超過10點時，應計算算術平均值，并按算術平均值進行空氣潔凈度等級的評價。
A.5.3??每次性能測試或再認證測試應做記錄，并應提交性能合格或不合格的綜合報告。測試報告應包括下列內容：
????1??測試機構的名稱、地址。
????2??測試日期和測試者簽名。
????3??執(zhí)行標準的編號及標準出版日期。
????4??被測試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點的特定編號及坐標圖。
????5??被測潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級、被測粒徑、被測潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差。
?6??測量用的儀器編號和標定證書，測試方法細則及測試中的特殊情況。
????7??測試結果包括在全部采樣點坐標圖上注明所測的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數。
????8??對異常測試值進行說明及數據處理。
????9??注明上次的測試日期。
????10??設施的測試文件可作為下次監(jiān)測計劃的依據。
A.5.4??測試機構應提交潔凈室檢驗證書、再檢驗證書。
附錄B??潔凈廠房生產工作間的火災危險性分類舉例
表B?潔凈廠房生產工作間的火災危險性分類舉例
附錄C??凈化空調系統設計對維護管理的要求
C.0.1??潔凈室的凈化空氣監(jiān)測頻數宜按表C.0.1的規(guī)定進行監(jiān)測。
表C.0.1??潔凈室的凈化空氣監(jiān)測頻數
C.0.2??當出現下列任何一種情況時，應更換高效空氣過濾器：
?1??氣流速度降到最低限度。即使更換初效、中效空氣過濾器后，氣流速度仍不能增大。
????2??高效空氣過濾器的阻力達到初阻力的1.5倍～2.0倍。
????3??高效空氣過濾器出現無法修補的滲漏。
C.0.3??當潔凈廠房內采用高效真空吸塵器進行清掃時，應定期檢查吸塵器排氣口的含塵濃度。
本規(guī)范用詞說明
????1??為便于在執(zhí)行本規(guī)范條文時區(qū)別對待，對要求嚴格程度不同的用詞說明如下：
??????1)?表示很嚴格，非這樣做不可的：
?????????正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴禁”;
??????2)?表示嚴格，在正常情況下均應這樣做的;
?????????正面詞采用“應”，反面詞采用“不應”或“不得”;
??????3)?表示允許稍有選擇，在條件許可時首先應這樣做的：
?????????正面詞采用“宜”，反面詞采用“不宜”;
?4)?表示有選擇，在一定條件下可以這樣做的，采用“可”。
????2?條文中指明應按其他有關標準執(zhí)行的寫法為：“應符合……的規(guī)定”或“應按……執(zhí)行”。